Nanotechnologie

In unserem Reinraum (ISO Klasse 6) und in den Optiklaboren fertigen und charakterisieren wir neuartige optoelektronische Komponenten. Dazu werden neben Dünnschichttechniken und den klassischen Lithographieverfahren verschiedene nanotechnologische Herstellungsverfahren eingesetzt, sowie neue Verfahren entwickelt und untersucht.