Ran Xue
- Masterstudent
- Exploring the Photoresist Roughness in EUV Lithography
- Betreuung:
Prof. Dr.rer.nat. Uli Lemmer
Danilo De Simone, Prof. Stefan De Gendt´, IMEC, Leuven Belgien
Prof. Dr.rer.nat. Uli Lemmer
Danilo De Simone, Prof. Stefan De Gendt´, IMEC, Leuven Belgien